水平機(jī)械研磨酸性鍍銅工藝研究--《材料科學(xué)與工藝》2015年06期
2013年1月5日-電鍍 機(jī)械研磨 酸性鍍銅 耐蝕性 防滲碳性... 玻璃珠的運(yùn)動(dòng)對(duì)A3鋼表面產(chǎn)生機(jī)械研磨作用(MA),并采用掃描電鏡、顯微硬度測(cè)試儀、電化學(xué)工作站等方法對(duì)其...
水平震蕩機(jī)械研磨電鍍銅工藝研究_圖文_
2014年2月10日-水平震蕩機(jī)械研磨電鍍銅工藝研究 - 呂小莉等 水平震 蕩機(jī)械 研磨 電鍍銅 工藝研 究 水平震 蕩機(jī) 械研 磨 電鍍銅 工 藝研 究 呂小 莉, 馮長(zhǎng) 杰, 鐘小...
明礬石研磨機(jī)械工藝流程
明礬石研磨機(jī)械工藝流程-礦山機(jī)械設(shè)備明礬石研磨機(jī)械工藝流程怎樣生產(chǎn)明礬制作工藝相關(guān)技術(shù)流程如何加工明礬技術(shù)方法制作提取全新正版明礬人造銅明礬化合物及其生產(chǎn)方法...
【圖】單晶銅制造工藝技術(shù)大全_繁華依舊
在銅化學(xué)機(jī)械研磨工藝中減少晶片被腐蝕的方法 46、一種銅、鎳合金化的孿晶誘導(dǎo)...銅基大塊非晶合金 71、可去除半導(dǎo)體晶圓表面銅氧化物及水氣的系統(tǒng)與工藝流程 72...
化學(xué)機(jī)械研磨工藝中的銅腐蝕研究_
彭名君-《復(fù)旦大學(xué)》-2009[####]銅作為新的互連材料被引入集成電路的制造之后,以及大馬士革工藝的采用,帶來(lái)了新的工藝挑戰(zhàn)。銅在化學(xué)機(jī)械研臨的銅腐蝕問(wèn)題使得產(chǎn)品良率和可靠性都受到威脅。本文...[/####] 化學(xué)機(jī)械研磨工藝中的銅腐蝕研究_圖文_
評(píng)分:3.5/556頁(yè)[/####]2013年6月8日-化學(xué)機(jī)械研磨工藝中的銅腐蝕研究 - 目 錄 摘 要………1言………3酉………...
我有一個(gè)銅件,平面度要求極高、粗糙度小于0.02,請(qǐng)教合理的研磨...
9條回復(fù)-發(fā)帖時(shí)間:2013年3月12日2013年3月12日-我有一個(gè)銅件,平面度要求極高、粗糙度小于0.02,光鏡檢測(cè)需達(dá)到9條光帶以上,之前我嘗試過(guò)許多方法:先在鑄鐵研磨平臺(tái)上配以W2.5研磨膏進(jìn)行研磨,然后再用...
RTPC在銅化學(xué)機(jī)械研磨工藝中的應(yīng)用_
徐穎-《集成電路應(yīng)用》-2009[####]正在銅CMP工藝中,為了去除多余的銅金屬而形成嵌入式銅互聯(lián)結(jié)構(gòu),分別應(yīng)用電磁和光學(xué)信號(hào)于和階段的研磨終點(diǎn)控制。工藝如圖1所示。[/####] RTPC在銅化學(xué)機(jī)械研磨工藝中的應(yīng)用 -
2011年1月8日-4856基礎(chǔ)知識(shí)HOWTOMAKEACHIPRTPC在銅化學(xué)機(jī)械研磨工藝中的應(yīng)用徐穎應(yīng)用材料(中國(guó))公司在銅CMP工藝中,為了去除多余的銅金屬而形成嵌入式銅互聯(lián)結(jié)構(gòu),分...
表面機(jī)械研磨處理對(duì)Cu-Ti合金組織及性能的影響_
牛娜-《太原理工大學(xué)》-2012-被引量:8[####]近年來(lái),具有獨(dú)特微觀結(jié)構(gòu)和優(yōu)異力學(xué)性能的納米結(jié)構(gòu)材料成為人們研究的熱點(diǎn)。表面機(jī)械研磨處理(SMAT)方法不僅可以在材料表面制備出無(wú)污染、無(wú)缺陷及體致密的理想納米材...[/####] 【】銅表面化學(xué)機(jī)械研磨平坦化方法_
旋 朱,蔡孟峰-2008[####]公開(kāi)了一種銅表面的化學(xué)機(jī)械研磨平坦化方法,包括:在所述銅表面沉積介質(zhì)層的步驟和對(duì)表面具有所述介質(zhì)層的銅表面進(jìn)行研磨的步驟。本發(fā)明的銅表面的化學(xué)機(jī)械研磨平坦化方法...[/####] 銅合金襯套的手動(dòng)珩磨加工 -
2014年11月4日-主要介紹了使用手動(dòng)珩磨加工銅合金襯套內(nèi)孔的工藝方法...工的目的。因此, 磨棒,而丏研磨加工的效率較低。...利用平行線命令,如 公法線長(zhǎng)度 L 用于各類...
化學(xué)機(jī)械研磨工藝中銅腐蝕及研究 -
2015年11月23日-化學(xué)機(jī)械研磨工藝中銅腐蝕及研究上傳人:fyhm65 相關(guān)文檔 化學(xué)機(jī)械研磨工藝中的銅腐蝕研究() 八英寸銅化學(xué)機(jī)械研磨工藝對(duì)硅片腐蝕的改善...
降低銅制程化學(xué)機(jī)械研磨的缺陷與研漿殘留的方法
一種降低銅制程化學(xué)機(jī)械研磨的缺陷與研漿殘留的方法,是使用于化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺(tái)來(lái)進(jìn)行晶片的全面平坦化制
表面機(jī)械研磨處理對(duì)純銅組織和力學(xué)性能的影響-手機(jī)知網(wǎng)
發(fā)現(xiàn)由于部分梯度晶粒結(jié)構(gòu)純銅材料在拉伸過(guò)程中存在...通過(guò)在表面機(jī)械研磨處理的基礎(chǔ)上引入電鑄工藝,初步...期刊 | 化學(xué)鍍銅短碳纖維-銅-石墨復(fù)合材料的性能研究...
揭秘銅礦石加工生產(chǎn)工藝
2017年4月8日-作為高科產(chǎn)業(yè)中所需的核心材料之一,銅有著極高的...銅礦石加工工藝及相關(guān)機(jī)械在其中的作用 1.銅礦石加工...進(jìn)行研磨粉碎了(球磨機(jī)可以將輸送進(jìn)來(lái)銅礦石顆粒研磨...
【】化學(xué)機(jī)械研磨方法_
江志琴-2013[####]本發(fā)明公開(kāi)了一種化學(xué)機(jī)械研磨方法,用于研磨溝槽上方的金屬,包括主研磨和研磨去除剩余金屬的步驟,當(dāng)溝槽上方金屬厚度大于等于15千埃時(shí),該方法包括:主研磨溝槽上方預(yù)定厚...[/####] 【】化學(xué)機(jī)械研磨方法和化學(xué)機(jī)械研磨裝置_
吉田英朗-2004-被引量:2[####]一種化學(xué)機(jī)械研磨方法及化學(xué)機(jī)械研磨裝置,在研磨形成在襯底(13)上的銅和阻礙金屬,形成嵌入銅布線的CMP工序中,使打磨壓力為29g/cm2,打磨研磨布(12),而使研磨布的表面粗糙...[/####] 機(jī)械研磨(沖擊)電鍍銅鍍層的制備及耐蝕性研究_
李曄-《東北石油大學(xué)》-2016[####]機(jī)械研磨(沖擊)電鍍是在電鍍時(shí),能實(shí)時(shí)地對(duì)鍍件鍍層表面施加機(jī)械研磨(沖擊)作用的一種電鍍工藝。機(jī)械研磨(沖擊)電鍍的實(shí)現(xiàn)方式是機(jī)械研磨(沖擊)電鍍裝置帶動(dòng)含有玻璃球...[/####] 降低銅制程化學(xué)機(jī)械研磨的缺陷與研漿殘留的方法
一種降低銅制程化學(xué)機(jī)械研磨的缺陷與研漿殘留的方法。此方法包含,利用研漿進(jìn)行晶片研磨,再利用去離子水研磨及清洗晶片的表面,再將晶片升起,以去離子水由下向上的...
銅的固結(jié)磨料化學(xué)機(jī)械研拋工藝-手機(jī)知網(wǎng)
銅的固結(jié)磨料化學(xué)機(jī)械研拋工藝,銅,固結(jié)磨料研磨拋光墊,自修整性,堿性拋光液,表面粗糙度。銅因其延展性,磨削、研磨過(guò)程中極易粘附在工具表面,減小了容屑空間,是...
PCB加工之沉銅工藝流程詳解_港泉SMT
化學(xué)銅工藝是通過(guò)一系列必需的步驟而終完成化學(xué)銅...環(huán)氧紙基板:較酚醛紙板機(jī)械性能更好,NEMA級(jí),常見(jiàn)如...的研磨劑如玻璃珠或氧化鋁研磨材料.在濕漿法過(guò)程中...
銅的固結(jié)磨料化學(xué)機(jī)械研拋工藝
銅的固結(jié)磨料化學(xué)機(jī)械研拋工藝 銅固結(jié)磨料研磨拋光墊自修整性堿性拋光液表面粗糙度材料去除速率銅因其延展性,磨削、研磨過(guò)程中極易粘附在工具表面,減小了容屑空間,...
銅件研磨設(shè)備_銅件研磨設(shè)備價(jià)格_優(yōu)質(zhì)銅件研磨設(shè)備批發(fā)/..._
為您找到307條銅件研磨設(shè)備產(chǎn)品的詳細(xì)參數(shù),實(shí)時(shí)報(bào)價(jià),價(jià)格行情,優(yōu)質(zhì)批發(fā)/供應(yīng)等信息。您還可以找環(huán)保...
降低銅制程化學(xué)機(jī)械研磨的缺陷與研漿殘留的方法
一種降低銅制程化學(xué)機(jī)械研磨的缺陷與研漿殘留的方法,是使用于化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺(tái)來(lái)進(jìn)行晶片的全面平坦化制
銅導(dǎo)線化學(xué)機(jī)械研磨之研究—機(jī)制,膠體研磨粒子漿料..._
劉靜茵,Jing In Liu,涂肇嘉-2000[####]隨著積體電路(IC)制作技術(shù)之成長(zhǎng),元件尺寸必須縮減以大幅提升效能。為了減少多層金屬導(dǎo)線所造成的RC延遲,其必須以低電阻金屬導(dǎo)線及低介電常數(shù)介電材料來(lái)建構(gòu)多層金屬連線...[/####] 【】一種銅化學(xué)機(jī)械研磨方法及設(shè)備_
鄧武鋒-2012[####]本發(fā)明提供一種銅化學(xué)機(jī)械研磨方法及設(shè)備,其在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上增加了研磨步驟,通過(guò)采用銅選擇比高的研磨液對(duì)介質(zhì)層開(kāi)口之上的銅殘留層進(jìn)行研磨,可完全去除開(kāi)口之上的銅...[/####] 表面機(jī)械研磨處理銅合金力學(xué)性能的研究_
孫樂(lè)樂(lè)-《昆明理工大學(xué)》-2016[####]梯度結(jié)構(gòu)材料因其具備良好的機(jī)械性能而備受關(guān)注,本文主要以Cu-Al、Cu-Zn合金為研究對(duì)象,通過(guò)表面機(jī)械研磨處理(Surface mechanical attrition treatment, SMAT)工藝在...[/####] 【】化學(xué)機(jī)械研磨的流程與基底上銅層氧化物研磨制程_
洪偉倫,莊佳哲,鐘基偉-2005-被引量:9[####]化學(xué)機(jī)械研磨的流程與基底上銅層氧化物研磨制程洪偉倫莊佳哲鐘基偉邱文智陳盈和章勛明CNA * Jun 18, 2004 May 25, 2005 積體電路制造股份有限公司 ...[/####] 關(guān)于錐孔銅套研磨的工藝試驗(yàn)_
胡克庭,羅廣鳴,徐弘-《機(jī)械制造》-1986[####]關(guān)于錐孔銅套研磨的工藝試驗(yàn) 研磨劑光潔度外圓磨床工件表面研磨工具酚醛樹(shù)脂動(dòng)...胡克庭羅廣鳴徐弘《機(jī)械制造》...[/####] 化學(xué)機(jī)械研磨的流程與基底上銅層氧化物研磨制程
化學(xué)機(jī)械研磨的流程與基底上銅層氧化物研磨制程莊佳哲洪偉倫章勛明邱文智鐘基偉陳盈和...
RTPC在銅化學(xué)機(jī)械研磨工藝中的應(yīng)用-《集成電路應(yīng)用》20..._中國(guó)知網(wǎng)
RTPC在銅化學(xué)機(jī)械研磨工藝中的應(yīng)用,徐穎;-集成電路應(yīng)用2009年第11期在線閱讀、文章下載。<正>在銅CMP工藝中,為了去除多余的銅金屬而形成嵌入式銅互聯(lián)結(jié)構(gòu),分別...
