金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究及解決方法_科技_網(wǎng)
2017年10月14日-雷(上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司,上海 摘要:通過研究金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨(W CMP)后清洗的一種水痕狀的缺陷(Water mark like defect),...
研磨機(jī)械_研磨機(jī)械【價格 圖片】_淘寶網(wǎng)研磨機(jī)械_淘寶網(wǎng)
淘寶網(wǎng)為您找到927件研磨機(jī)械相關(guān)的寶貝。... 研磨機(jī)械”商品 紅丹粉工業(yè)機(jī)床刮研用研磨用紅丹粉機(jī)械磨具用粉包郵0.25公斤 ￥13.00 天上飛的一只鵝月銷: 173 ...
【】一種減少鎢化學(xué)機(jī)械研磨微刮痕的工藝_
明卿-2006-被引量:1[####]一種減少鎢化學(xué)機(jī)械研磨微刮痕的工藝,提供一半導(dǎo)體基底,其制作鎢插塞的主要步驟有光阻涂布、微影,蝕刻,用W CVD方法沉積鎢金屬,用W CMP工藝磨去表面的鎢金屬,完成鎢插塞的...[/####] 金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究及解決方法_
雷-《集成電路應(yīng)用》-2017[####]通過研究金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨(W CMP)后清洗的一種水痕狀的缺陷(Water mark like defect),經(jīng)過一系列的實(shí)驗(yàn),我們發(fā)現(xiàn)這種缺陷產(chǎn)生的原因是具有鎢插塞(W Plug)結(jié)構(gòu)的晶片...[/####] 金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究及解決方法-集成電路應(yīng)用2017年08...
金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究及解決方法,集成電路制造,水痕,化學(xué)機(jī)械研磨,缺陷。通過研究金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨(W CMP)后清洗的一種水痕狀的缺陷(Water mark like...
氮?dú)庵星蚰ユu和鉬的結(jié)構(gòu)和熱性能:研磨時間和氣氛的..._
Calka,陳安慶-《鎢鉬材料》-1996[####]氮?dú)庵星蚰ユu和鉬的結(jié)構(gòu)和熱性能:研磨時間和氣氛的影響 機(jī)械合金化氮?dú)鈿夥真u鉬球磨金屬氮化物摘要: 鎢和鉬的氮化物是很少研究的過渡金屬氮化物。r-Mo2N,δ-MoN,...[/####] 蘇州東金機(jī)械金屬有限公司
回到頂部 鎢棒研磨機(jī) 鎢棒研磨2 (DGP-PG)...幾乎為0,也不夠其他機(jī)械設(shè)備的干擾。 ●從電纜...
氮?dú)庵星蚰ユu和鉬的結(jié)構(gòu)和熱性能:研磨時間和氣氛的..._
Calka,陳安慶-《鎢鉬材料》-1996[####]氮?dú)庵星蚰ユu和鉬的結(jié)構(gòu)和熱性能:研磨時間和氣氛的影響 機(jī)械合金化氮?dú)鈿夥真u鉬球磨金屬氮化物摘要: 鎢和鉬的氮化物是很少研究的過渡金屬氮化物。r-Mo2N,δ-MoN,...[/####] 蘇州東金機(jī)械金屬有限公司
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【樂高直銷Y3絲攻 鎢鋼螺旋絲錐研磨機(jī) 工具 磨床磨刀..._阿土伯
2017年12月7日-臺州林隆貿(mào)易有限公司提供【樂高直銷Y3絲攻 鎢鋼螺旋絲錐研磨機(jī) 工具 磨床磨刀機(jī) 刃磨機(jī)】LG-Y3,型號...
【鎢針磨尖機(jī)】、鎢針磨尖機(jī)專題-中國供應(yīng)商
辰驕機(jī)械供應(yīng)全自動鎢針磨尖機(jī),鋼絲磨針機(jī),規(guī)格全價格低 ￥8000.00 河北 ...TIG-SHARP鎢針磨削機(jī) ￥3500.00 上海 TIG SHARP 鎢極磨尖機(jī) 鎢針研磨機(jī) ...
鎢的二次資源及其開發(fā)前景 -
2014年8月7日-按目前中國商品粗鎢絲和鎢桿的年產(chǎn)量為很多研究工作...成 ; < 機(jī)械破碎法 $ 機(jī)械破碎法是一種為簡單...而 物經(jīng)研磨和篩分后,在管狀爐中在 :"" , $ ...
【】鎢化學(xué)機(jī)械研磨方法_
鄧永平-2009[####]一種鎢化學(xué)機(jī)械研磨方法,包括:提供具有介電層的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),在所述介電層中具有開口,在所述開口中和介電層上依次具有金屬阻擋層和鎢金屬層;執(zhí)行階段化學(xué)機(jī)械研磨,去除...[/####] 單晶金剛石機(jī)械研磨與化學(xué)機(jī)械拋光工藝-納米技術(shù)與精密工程2015年...
2015年3月15日-單晶金剛石機(jī)械研磨與化學(xué)機(jī)械拋光工藝,單晶金剛石;;機(jī)械研磨;;化學(xué)機(jī)械拋光,單晶金剛石在工業(yè)、國防等領(lǐng)域的應(yīng)用日益廣泛,對其加工表面質(zhì)量的要求不...
機(jī)械配件_鎢鋼拋光/拋光加工/機(jī)械配件研磨加工 -
鎢鋼鏡面拋光加工/模具拋光加工/機(jī)械配件研磨加工,表面處理,這里云集了眾多的供應(yīng)商,采購商,制造商。...
供應(yīng)鎢鋼刀片研磨機(jī)
供應(yīng)鎢鋼刀片研磨機(jī),八方資源網(wǎng)云集了眾多的供應(yīng)商,采購商,制造商。這是供應(yīng) 供應(yīng)鎢鋼刀片研磨機(jī) 的詳細(xì)頁面。 品牌 SY薪鐿 型號 SR-260 形式 電動 電源電壓 ...
金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究及解決方法 -
2017年8月29日-集成電路應(yīng)用第34卷第8期(總第87期)017年8月59ProcessandFabrication工藝與制造金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究及解決方法摘要:通過研究金屬鎢化學(xué)機(jī)...
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【日本松本機(jī)械MAC 鎢機(jī)研磨機(jī) TA-60XW 日本原裝進(jìn)口】..._馬可波羅
馬可波羅網(wǎng)(makepolo.com)提供南京地平線工貿(mào)實(shí)業(yè)有限公司-銷售部相關(guān)企業(yè)介紹及產(chǎn)品信息主要以日本松本機(jī)械MAC 鎢機(jī)研磨機(jī) TA-60XW 日本原裝進(jìn)口為主,還包括了...
鎢鋼研磨設(shè)備廠家_鎢鋼研磨設(shè)備廠家/公司/鎢鋼研磨設(shè)備..._
深圳市精誠信五金機(jī)械有限公司 經(jīng)營模式 : 生產(chǎn)加工...主營產(chǎn)品 : 硬質(zhì)合金制品;高比重鎢合金;鎢粉系列;...回轉(zhuǎn)工作臺;立臥分度盤;銑刀研磨機(jī);車刀研磨機(jī);...
超大規(guī)模集成電路中鎢插塞的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)理_
劉杰-天津大學(xué)-2012[####]鎢插塞化學(xué)機(jī)械拋光CMP在半導(dǎo)體集成電路中是非常重要工藝,化學(xué)機(jī)械研磨同樣是一個新型的工藝,在半導(dǎo)體生產(chǎn)的過程中起著舉足輕重的作用,集成電路的前緣技術(shù)是在低k...[/####] 化學(xué)機(jī)械研磨_手機(jī)互動百科
研磨制程根據(jù)研磨對象不同主要分為:硅研磨(Poly CMP)、硅氧化物研磨(Oxide CMP)、鎢研磨(W CMP)和銅研磨(Cu CMP)。 三 研磨耗材 研磨耗材分為以下幾大類...
東莞鎢鋼研磨配件加工廠 精密機(jī)械加工-五金-六安新聞網(wǎng)
6天前-東莞鎢鋼研磨配件加工廠淺談非標(biāo)設(shè)備設(shè)計制造要點(diǎn) 非標(biāo)設(shè)備設(shè)...... 東莞鎢鋼研磨配件加工廠淺談非標(biāo)設(shè)備設(shè)計...甚有對應(yīng)不同加工工藝都標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械機(jī)構(gòu)或者...
東莞鎢鋼研磨配件加工廠 精密機(jī)械加工-五金-六安新聞網(wǎng)
6天前-東莞鎢鋼研磨配件加工廠淺談非標(biāo)設(shè)備設(shè)計制造要點(diǎn) 非標(biāo)設(shè)備設(shè)...... 東莞鎢鋼研磨配件加工廠淺談非標(biāo)設(shè)備設(shè)計...甚有對應(yīng)不同加工工藝都標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械機(jī)構(gòu)或者...
粉體工業(yè)中常用的破碎工藝與破碎機(jī)械
工作原理:被破碎的物料,在兩個相對轉(zhuǎn)動的圓輥夾縫中...(如鎢、錫礦石)和處理黏性含泥物料的中小型選礦廠...上繼續(xù)受到錘子的打擊和研磨,直到破碎所需出料...
金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究及解決方法_論文_
2018年5月13日-金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究及解決方法 - Process and Fabrication 工藝與制造 金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究 及解決方法 雷 (上海華虹宏力半...
